本发明公开了一种超疏水薄膜材料及制备方法。材料包括衬底和其上的版薄膜，特别是薄膜由其权外修饰有氟硅烷的呈球形孔的金属氧化物构成，球形孔径为１００～５０００ｎｍ，薄膜厚为５０～５０００ｎｍ；方法包括将胶体球附于衬底上形成模板，特别是完成步骤为：１）将金属氧化物前驱体溶胶或溶液渗入胶体球间，再将其于５０～１１０℃加热０．５～３小时；２）将浸在二氯甲烷中的前述模板置于超声波中１～３分钟，再将其于３７０～５００℃退火１～３小时；３）将处理过的模板于０．５～５％氟硅烷的甲醇溶液中浸泡８～２５小时，再将其于５０～１００℃干燥１～５小时，制得表面水接触角大于１５０度，呈超疏水表面性质的薄膜材料。它可广泛用于防雨雪、自清洁、抗氧化及防止电流传导和用作微流体器件等。