水的纯度常以水中含盐量或水的电阻率来衡量。电阻率是指断面1cmxcm，长1cm体积的内水所测得容的电阻，单位为欧姆厘米。根据各工业部门对水质的不同要求，水的纯度可分为下列四种：淡化水：一般指将高含盐量的水经过局部除盐处理后成为生活及生产用的淡水,海水及咸水的淡化属于此类。脱盐水：相当于普通蒸馏水。水中强电解质大部分已去除，剩余含盐量约为1- 5mg/L。25度时水的电阻率为0.1-1.0MΩ.cm。纯水：亦称去离子水。水中强电解质的绝大部分已去除，而弱电解质也去除到一定程度，剩余含盐量在1.0mg/L一下。25度时水的电阻率为1.0-10MΩ.cm。高纯水：又称超纯水。此时，水中的到电解质几乎已全部去除，而水中胶体微粒微生物、溶解气体和有机物也已去除到最低的程度。在使用之前，还需进行终端处理以确保水的高纯度。高纯水的剩余含盐量应在0.1mg/L一下。25度时，水的电阻率在10MΩ.cm以上。而理论上纯水（即理想纯水）的电阻率应等于18.3MΩ.cm（在 25度时）。