所有在无尘室中使用的真空吸尘器都必须具备HEPA（高效过滤器）过滤功能，可以有效过滤掉0.3微米的微尘粒子达到99.97%。此外，HEPA（高效过滤器）必须后置于马达，也就是说马达运转产生的灰尘也可以被HEPA过滤掉。请注意：不是所有的HEPA过滤系统都后置于马达。一般常用的TIGER-VAC CR-1（带HEPA）和NILFISK GM80（带HEPA）的HEPA（高效过滤器）都后置于马达，所以他们过滤效果可以适用到CLASS100的无尘室环境。但有些工业吸尘器，虽然也配置HEPA（高效过滤器），比如STARMIX系列的吸尘器，但他们的HEPA（高效过滤器）是前置于马达，所以没办法过滤掉马达运转产生的灰尘，因此这些型号的吸尘器我们一般不推荐用到无尘室。
我们的无尘室吸尘器还可以配置ULPA（超高效过滤器），可以有效过滤掉0.12微米的微尘粒子达到99.999%。客户可以根据需要使用COUNTER（微尘测试仪）来测试吸尘器的过滤效果。 吸尘器可以配置HEPA过滤器，但却没办法做到强排风。真空吸尘器真正达到无尘室的要求，除了配置HEPA或ULPA过滤器以外，还要做到强排风（一台吸尘器只允许有一个进风口和一个出风口），才能保证吸入的灰尘100%的经过HEPA或ULPA过滤。家用的吸尘器或者一般普通工业吸尘器都做不到强排风，他们把灰尘吸进去以后，又从不同的出风口泄漏出来，造成洁净室的二次污染。同时把原本静止的灰尘又重新扬起来，落到产品上影响产品的良率。
购买真空吸尘器时还需考虑环境的干湿度有液体环境下的无尘室选择干湿两用无尘室吸尘器。没有液体的无尘室最好选择干式无尘室吸尘器。因为干式无尘室吸尘器只能用来过滤灰尘，不能用来吸液体，否则吸尘器电机会烧掉。但是一般干式无尘室吸尘器的过滤效果比干湿两用无尘室吸尘器效果好一些。